J’ai pris ce cliché en 2017 dans le cadre d’un projet Européen porté par l’ESA (agence spatiale Européenne) visant à évaluer différents fabricants et technologies de composants MEMS.
Ici, le composant présentait un capot de protection en verre, donc transparent. Pour en observer l’intérieur et ainsi visualiser les structures internes du MEMS, nous avons décidé de conserver ce capot et d’obtenir un effet loupe grossissant en déposant une goutte d’eau à sa surface.
Hélas, le capot en verre était légèrement fissuré, laissant pénétrer l’eau dans la cavité. Les gouttes ont perlé à la surface des microstructures MEMS, à l’intérieur du composant.
Lors de mon inspection, par microscopie optique (+ contraste interférentiel différentiel « Nomarski »), j’ai constaté la pénétration de ces gouttelettes dans le boîtier et leur présence sur toute la surface du MEMS.
Dernière surprise, due au contraste interférentiel : ces gouttes présentaient ces fines franges irisées !
Dorine
