Notre parc matériel recouvre les équipements CNES partagés avec ELEMCA et nos moyens propres. Ces installations cumulées représentent une superficie supérieure à 1000m2 et + de cinquante équipements de pointe.

Prestations sous-traitées (*) : nous collaborons avec nos partenaires, locaux ou Français, pour assurer la maîtrise d’œuvre des affaires techniques nécessitant des équipements exclusifs.


CND & localisation de défauts

RX : radiographie X (2D), tomographie X (3D),  laminographie

Thermographie IR synchrone (LIT)

PHEMOS, OBIRCH, microscopie confocale IR

Microscopie acoustique (CSAM)*


Préparation d'échantillon

FIB plasma Xénon, FIB Gallium

Attaques acides, Laser*, micro-fraisage

Polissage parallèle et transverse (microsection enrobée ou sur puce nue)

Découpe (tronçonneuse, scie à fil)


Imagerie optique, électronique & analyse de surfaces

TEM*, STEM + détecteur EDX

MEB (modes :FEG, faible vide, BSE, ASB) + détecteurs EDX, EBSD

Binoculaires, microscopes optiques

Profilométrie optique (confocale, interférométrie)

AFM - microscope à force atomique


Analyses chimiques

Détecteurs EDX (sur MEB + TEM)

Fluorescence X (XRF)

SIMS (TOF / D)*, XPS*, Auger*

Spectrométrie IR (FT-IR)


Analyses métallurgiques / microstructurales

Détecteur EBSD (sur MEB)

Révélation + inspection optique

Caractérisation thermique [-150°C ; +500°C]

Dilatométrie / TMA [Max + 950°C]

DMA : évolution de la viscoélasticité selon la température

DSC : température de transition vitreuse / Tg

ATG : températures de dégradation des polymères

Dégazage TML/CVCM/RML


Caractérisation électrique matériau

Electromètre, pico-ampèremètre (σ, ρ)

Tests électriques : puces non câblées (wafer), composants, cartes

Amplificateur à détection synchrone / LIA (DC-200MHz)

Analyseurs paramétriques, LCRmètres (DC-1GHz)

Centrale d'acquisition de données


Evaluation package électronique

Arrachement de fils, cisaillement de billes ou de puces

Herméticité fines et larges fuites

Mouillabilité*


Caractérisation mécanique

Nanoindentation (Berkovich), microdureté Vickers

Machines de traction universelle [-80°C ; + 250°C] + extensométrie sans contact


Essais / vieillissement accéléré

Vide thermique [-180°C; +200°C / vide partiel ou secondaire <10-5 mbar]

Climatique [+ 95°C / 95%HR]

Cyclage thermique [-180°C ; + 300°C]

+ polarisation [DC-1GHz]

Chocs* / vibrations*